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无尘车间标准等级通常分为十级，每一级对空气中的粒子数量有更严格的限制。

1级无尘车间
。通常用于制造集成电路等精密工业，要求每立方米空气中大于或等于0.5微米的粒子数量不超过10个
。

10级至1级无尘车间
。每降一级，对空气中粒子的限制更严格，例如
，10级无尘车间的粒子数量限制是每立方米不超过100万个0.5微米的粒子
。

此外
，ISO标准中还有其他级别的无尘车间，如ISO 2级至ISO 9级，这些级别主要针对空气中大于或等于0.5微米的粒子数量，不同级别的差异在于粒子数量的上限不同。